派瑞林弹簧绝缘镀膜-菱威纳米-弹簧绝缘

       使用傅里叶变换红外光谱仪( ftir，弹簧绝缘， nicoletauatar 370 dtgs)对a - c: f薄膜表面的化学成分及成键结构进行分析。利用光学接触角测试仪( phoenix 300)测量a - c: f薄膜与去离子水之间的接触角。把水滴滴到一固体平面上时，平衡状态下液- 气界面所成的角度θe 表示接触角。

       利用扫描探针显微镜(afm， dimension3100)测量a - c: f薄膜(以硅片为基底，硅片表面光洁平滑， rms值为0. 1 nm) ，观察不同放电条件下a - c: f薄膜形貌的变化。实验在---环境中操作，使用掺磷硅纳米碳针尖，针尖直径< 10nm，测量范围为2 μm ×2 μm。实验中选取轻敲模式(即在一个振动周期的大部分时间内针尖不接触a - c: f薄膜表面，可以对薄膜进行无损检测)测量a - c: f 薄膜的表面形貌。用台阶仪( surfcorder et4000m)测量薄膜厚度，再用厚度除以沉积时间，得到薄膜的沉积速率。

        放电室腔体真空密闭，气体放电间隙在0～5 mm可调，实验选用厚为3. 5 mm的普通玻璃作为介质，高压电极与玻璃介质接触，地电极与玻璃介质间隙为3 mm。抽气系统由机械泵( zxz - 4型，上海真空泵厂)和电磁真空带充气阀(ddc - jq - a，派瑞林弹簧绝缘镀膜，上海阀门二厂)组成。