涂敷过程在真空下进行,称它为蒸汽沉积聚合(vdp),作为一种涂敷技术,vdp提供了---的---性,明显要由于刷涂,浸涂,喷涂等其它涂敷技术。它的---性主要来源于它是由气相单体直接形成固体涂层而没有一个液态的中间过度阶段。因此在传统方法中由于表面张力而引起的从棱刃处流淌到低的沟槽里积料的现象它不会发生。parylene涂层是从基材的表面向外“生长”,形成一个均匀厚度的敷形涂层,好多试验证明这种涂敷处理涂层厚度在1微米以下时也是无的。
parylene是一类特殊的热塑性聚合物家族的总称,纳米镀膜,它们在真空条件下稀薄的气体中形成并附着在表面。这些线性聚合物每单位厚度都有的屏蔽性能,具有的化学惰性及无性。parylene薄膜无色透明。液体涂层的平均厚度几乎为parylene的额定厚度的10倍左右。 parylene在密闭的沉积过程中从粉末状原材料转化为气体,当它沉积在基材上时就形成了高分子膜。parylene在大约0.1托的真空室内形成。这时气体分子的平均自由程只有0.1厘米。因而沉积不会是直线型的,汽车纳米镀膜厂家,待涂敷封装物体的所有部分都会受到聚合气体不规则的撞击。
parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,pcb纳米镀膜厂家,而且所制备的parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,镜头纳米镀膜厂家,因此parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。 parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就---1000v以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
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