parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,手机纳米镀膜工厂,而且所制备parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
parylene不仅电性能,防护性能好,而且生物相溶性也好,它已通过美国fda论证,满足美国药典生物材料vi类标准,被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。派瑞林在以下几种代表性的应用: 电子传感器: 通过使用派瑞林涂层,镀膜,人们无需在精细的传感器表面进行物理性加载就可达到要求.测量器件。多用途遥控测量电路的消耗据报告称正在不断增加,这些电路必须---能在要求的环境条件下运转,而parylene涂层能对潮湿、溶剂和其他污染物的侵蚀起到长效保护作用。 航天应用: 利用派瑞林的一些---性质实现空间强化,防止由于---温度变化导致的浓缩,---气体排出等。
在微电子领域,近些年parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的parylene不仅可制精细尺寸的涂层,刀具真空镀膜工厂,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下---规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,---是氟代parylene,更被国外集成电路研究者所---,用作多层集成---规模集成电路的层间绝缘介质。
作为电子电路的防护涂层,parylene不需另加防霉剂,本身防霉能达零级。在盐雾实验中,与其它涂层相比,parylene防护的电路电阻几乎不下降,高温真空镀膜工厂,其它涂层则都有较大的下降。很薄的parylene涂层能提供优异的防护性能,还有利于电路板工作热量的消散,因此作为防护涂层
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