









目前使用的parylene主要有parylene n,parylene c和parylene d三种,其共同点是高度惰性与高纯度,派瑞林绝缘涂层,而每一种型号又有各自不同特点:parylene n 具有---的击穿强度,同时具有与频率无关的低介电常数;parylene c提供了的电气特性和物理特性的组合,包括潮热环境和腐蚀性气体环境下的低渗透率;parylene d 通过高温下优良的物理和电性能---了热稳定性。parylene ht是具备上述三种材料优点的一种组合材料。下面主要以 parylene n和 parylene c为例,介绍 parylene的主要特性。

固有的优异干润滑特性,其系数摩擦系数接近ptfe的应用范围,使得派瑞林作为干膜润滑剂,---是作为手术器械涂层的---资产。派瑞林的阻隔性能和化学惰性---适用于生物医学物体或具有橡胶密封件,柱塞或隔膜的---仪器。这种底物可能与人体组织暂时或长时间接触,派瑞林涂覆,否则会受到损害。
派瑞林涂层也用于硅橡胶键盘,防止印刷图案,抵抗表面磨损,解决粘性问题,江门派瑞林,同时保护键盘免受污垢,灰尘和油污。所施加的膜具有高介电强度,派瑞林加工,并且不损害下面的橡胶组分的电绝缘性能。派瑞林提供无,防止潮湿,腐蚀性---,常见气体,---和温度。增加涂层厚度可进一步提高化学耐受性和耐溶剂性,而不会增加重量或实质上影响基板的弹性。

采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制---的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。

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