









原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面,它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层沉积的关键。气相物质在基体材料的表面吸附特征可以看出,任何气相物质在材料表面都可以进行物理吸附,但是要实现在材料表面的化学吸附必须具有一定的活化能,因此能否实现原子层沉积,选择合适的反应前驱体物质是很重要的。

parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点,可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域,因其生物兼容性和生物稳定性,还可以应用在领域。然而,需要注意的是,parylene涂覆对于材料表面的要求比较高,parylene真空涂装,要求附着力好,无杂质,锂电池parylene涂层,因此在进行涂覆前,必须对物件的表面进行一定预处理,以增加涂覆物件的附着力。
派瑞林纳米涂层与通常所使用的三防漆有很大的区别,相比之下,三防漆更不易让pcb以及元器件散热,导电性能不佳,三防漆会释放有毒---,而pcb纳米潮涂层更,符合rohs,reach,msds等欧盟,其所形成的涂层肉眼不可视,散热性能---,导电性能也不受影响。

钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。目前国内常用两种方法进行防护,一种是传统的电镀工艺在 铁硼磁性材料表面镀上镍、锌或锡、金等。这些涂层有时会影响磁性材料的表磁等特性,有的在盐雾试验时仍不能对钕铁硼磁性材料提供有效的防护。另一种方法是用环氧树脂材料进行电泳涂敷,增城parylene,但电泳涂敷时工件表面必须有一挂点,挂点的修补不仅费工费时,而且难以---,而parylene涂层技术可控制涂层厚度进行无支点全涂敷防护。派瑞林(parylene)又是一种透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料,目前国外小型钕铁硼稀土磁性材料都已采用派瑞林(parylene)进行防护。
用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(cvd),反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应,在固态基体表面直接生成固态物质,进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连碳碳键断裂,生成具有活性的对二亚---单体,当其从高温环境进入室温环境的沉积室时,不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步:单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。

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