









派瑞林f粉是一种---异的涂层材料,由于其优异的性能和的真空气相沉积工艺使其广泛应用于许多领域。作为保形防护材料在许多方面也优于其他常见涂层材料;派瑞林 f粉已在航天航空、电子、半导体等诸多---领域得到了广泛应用,未来,随着工艺、技术和产品的不断完善,派瑞林f粉在国内的应用规模将快速增长。
派瑞林f粉别名:parylene f粉、八氟对二二聚体,该材料为含氟的高分子涂层材料。膜层具有高通透性、厚度均匀、耐酸碱、介电特性好、光电和器械等领域都有着广泛的应用。

首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层c在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(parylene)涂层微通道。通过控制(parylene)涂层沉积的厚度,parylene 耐温,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。

mems集成装置尤其是在生物传感器方面,parylene真空涂装,已经成为心率、血压等涉及到---生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,锂电池parylene涂层,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,mems柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,台山parylene,可以实时检测体重、---姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术---的提升了mems产品的表面防护性能。

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