









采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制---的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。

由于parylene涂层材料是在真空下沉积而成,是裂解的分子重新聚合形成的防护材料,弹簧派瑞林镀膜多少钱,属分子级的生长,生成的涂层致密稳定、摩擦系数小,弹簧派瑞林镀膜供应商,且随着涂层生长厚度的增加,摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时,弹簧派瑞林镀膜加工,摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半,厚度为2μm时的摩擦系数,仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1 /4。
parylene 材料有---的物理和机械性能,其和常用涂层的物理和机械性能比较如表 1 所示,从表中可以看出,弹簧派瑞林镀膜,其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定,变化范围小,摩擦系数较小。
派拉纶(parylene)涂层工艺是使用化学气相沉积(cvd)工艺在真空下沉积的。派拉纶(parylene)的(cvd)工艺分为三个步骤(升华,热解,沉积)。首先,将二聚体(具有两个重复单元的前体)升华。下一步,在高于> 500°c的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后,单体在基材表面(以及腔室表面)上聚合,形成线性聚合物链。后一步在室温下进行,得到派拉纶(parylene)保形涂层。通过的真空镀膜机,进行的镀膜加工生产。

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