mems集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到---生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域，mems柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，派瑞林磁性材料镀膜，可以实时检测体重、---姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，派瑞林真空镀膜，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，派瑞林镀膜技术---的提升了mems产品的表面防护性能。
派瑞林涂层可保护各种橡胶和弹性体组件，包括密封件、垫圈，键盘、导管、塞子、级硅树脂或橡胶产品，派瑞林涂层具有---的生物相容性，---和化学惰性保护屏障，因此，对于提升器械防护性能具有---的防护作用。
派瑞林（parylene）涂层通过气相沉积工艺在真空室中施加，并且在涂覆过程中，派瑞林单体能够渗透橡胶和塑料的表面，从而提供优异的粘附性。派瑞林（parylene）薄而透明的柔韧特性通过保护表面和---表面特性，提高了橡胶和弹性体组件的性能。在不降低部件功能性能的情况下进行这些改进。派瑞林（parylene）产生真正的保形涂层部件，在平坦的表面区域和孔的内部尺寸周围具有一致的厚度。无派瑞林（parylene）涂层可以防止物质转移到涂层基材中或从涂层基材中转移出来，即使在一个或两个微米层中也是如此，派瑞林（parylene）涂层密封较复杂的印刷品。
派拉纶（parylene）涂层工艺是使用化学气相沉积（cvd）工艺在真空下沉积的。派拉纶（parylene）的（cvd）工艺分为三个步骤（升华，派瑞林镀膜，热解，沉积）。首先，---头派瑞林镀膜有哪些，将二聚体（具有两个重复单元的前体）升华。下一步，在高于＞ 500°c的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后，单体在基材表面（以及腔室表面）上聚合，形成线性聚合物链。后一步在室温下进行，得到派拉纶（parylene）保形涂层。通过的真空镀膜机，进行的镀膜加工生产。
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