纳米防腐涂层-纳米涂层-菱威真空镀膜工厂

派瑞林（parylene）真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面。它以真空技术为基础，采用物理或化学方法，吸收了电子束、分子束、离子束、等离子体束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供了一种新的薄膜制备工艺。简而言之，金属、合金或化合物在真空中蒸发或溅射，从而可以沉积在被涂覆的物体(称为基底、衬底或基体)上

光学镀膜技术常用的方法是真空溅射镀膜玻璃基片，一般用来控制基片对入射光束的反射率和透过率，纳米涂层，以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损耗，提高成像，纳米防污涂层，涂覆一层或多层透明介质膜，称为减反射膜或减反射膜。

        首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层c在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（parylene）涂层微通道。通过控制（parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，纳米涂层模具，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，纳米防腐涂层，并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。



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