菱威真空镀膜派瑞林-parylene 涂层

       派瑞林是一种对二的聚合物。用的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐棱边、裂経和内表面。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应カ、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，parylene 涂层，是当代较有效的防潮、防霉、防盐雾涂层材料。精细的尺寸和优异的性能结合，使派瑞林在要求和高---性的当代---产品中得到了越来越多的应用。

       有机高分子奈米薄膜，属高绝缘性、无、膜厚一致性的耐薄膜。其防尘、防潮、防水的耐透气性效果，可使产品达到国际性防尘、防水的ip等级规范。例如，可使马达组立、定子、转子达到防尘、防水的ip5、5规范；对硅钢片的耐压及防线伤或nb电池回路基板，抗电解液腐蚀等都有其---的---。

　　原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，parylene真空涂装，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层沉积的关键。气相物质在基体材料的表面吸附特征可以看出，任何气相物质在材料表面都可以进行物理吸附，连州parylene，但是要实现在材料表面的化学吸附必须具有一定的活化能，因此能否实现原子层沉积，选择合适的反应前驱体物质是很重要的。



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