









首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层c在微通道上,中山弹簧派瑞林镀膜,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(parylene)涂层微通道。通过控制(parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,弹簧派瑞林镀膜公司,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。

派瑞林(parylene)真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面。它以真空技术为基础,采用物理或化学方法,吸收了电子束、分子束、离子束、等离子体束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供了一种新的薄膜制备工艺。简而言之,金属、合金或化合物在真空中蒸发或溅射,从而可以沉积在被涂覆的物体(称为基底、衬底或基体)上
光学镀膜技术常用的方法是真空溅射镀膜玻璃基片,一般用来控制基片对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损耗,提高成像,涂覆一层或多层透明介质膜,称为减反射膜或减反射膜。

真空镀膜加工技能在塑料制品的运用上比较广泛。塑料具有易成型,成本低,轻,不腐蚀等特点,因而塑料制品运用广泛,弹簧派瑞林镀膜生产厂,但因其缺点制约了扩大运用,如不漂亮、易老化、机械性能差、耐热差、吸水率---。经过真空镀膜技能的运用,弹簧派瑞林镀膜报价,使塑料外表金属化,将有机资料和无机资料结合起来,---进步了它的物理、化学性能。
真空镀膜加工技能是一种新颖的资料组成与加工的新技能,是外表工程技能范畴的主要组成部分。真空镀膜加工技能是使用物理、化学手法将固体外表涂复一层特殊功能的镀膜,然后使固体外表具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装修等许多优于固体资料本身的优胜功能,到达提高商品、延伸商品寿数、节约能源和取得明显技能经济效益的效果。

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